风道长度较长时，风道长度方向为高频消声提供了较大的自然衰减量，为低频消声不足而设置的低频消声器宜装在出风口附近。设计选用阻性消声器时，万级洁净室，应防止高频失效的影响。当管径小于300mm时，可选用直管式消声器，大于300mm时，应选用片式、蜂窝式、折板式或声流式等消声器。对于高温、高压、高速排气放空噪声，应设计和选用节流降1压小孔喷注放空消声器。
洁净室土建地面与墙面不平整度不大于0.1%，墙角应垂直连接。为防止墙板因累积误差而倾斜扭曲，无尘洁净室工程，墙板垂直度偏差不应大于0.2%。---须按房间宽度的方向拱起，使---在使用负荷时保持平。---的四周应与墙壁紧密相连。在安装过程中，不得将板材的表面保护膜撕去。施工过程中禁止撞击或板表面。需要粘贴面层的材料、嵌填密封胶的表面和沟槽应防落积尘;粘贴前必须仔细清扫，除去杂质和油污，---粘贴密实牢固。
湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，芜湖洁净室，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高，粘附的难去掉，洁净室工程，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产佳温度范围为35—45%。
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