风道长度较长时，风道长度方向为高频消声提供了较大的自然衰减量，为低频消声不足而设置的低频消声器宜装在出风口附近。设计选用阻性消声器时，洁净室设计，应防止高频失效的影响。当管径小于300mm时，可选用直管式消声器，大于300mm时，应选用片式、蜂窝式、折板式或声流式等消声器。对于高温、高压、高速排气放空噪声，应设计和选用节流降1压小孔喷注放空消声器。
洁净室中的气压规定：对于大部分洁净空间，为了防止外界污染侵入，需要保持内部的压力（静压）高于外部的压力（静压）。压力差的维持一般应符合以下原则：1．洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。2.洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。3.相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间。
具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在---集成电路生产的光刻---工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，千级洁净室，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，滁州洁净室，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，---是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。
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