为了满足集成电路日益精细的加工要求，各国在微污染控制技术领域内投入了---的人力、物力进行系统研究，取得了大量科技成果，涌现了一批---产品，诸如超过滤器(过滤效率达99.9999%)的问世及iso3级(0.1μm)洁净室的建立;超纯水及超纯气体的应用;隧道式洁净室及微环境系统洁净室的出现和使用，---降低了污染。在防微振领域，从厂房结构形式、动力设备布置及隔振措施到精密设备防微振措施等方面---的建树，阜阳洁净室，为集成电路生产提供了一个优良的环境。
洁净实验室设计要求在可能的情况下更换绝缘材料并在---时安装电力技术。让洁净室管理人员进行静态审核以识别潜在问题以及可能导致问题的原因非常重要。 洁净实验室设计要求做好温湿度控制，因为洁净室实验需要控制温湿度以防止腐蚀、防止工作面冷凝，医院洁净室，并减少放电。 洁净实验室设计要求必须安装hepa过滤器，这对于控制污染---。
防腐环氧地坪具有---的特性：
1.抗酸、碱、盐等特性的化学物质的腐蚀
2.耐冲击、承受重负荷、抗拉强度好
3.防尘、防漏水、防龟裂
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