物理净化方式 机械过滤：hepa网，中文意思是高4效空气过滤器，达到hepa标准的过滤网，对于0.3微米的有效率达到99.998%，百级洁净室，hepa网的特点是空气通过，但小颗粒不能通过。hepa过滤网由一叠连续前后折叠的亚玻璃纤维膜组成，以形成用于放置和支撑过滤边界的波状垫片。 吸附过滤即活性炭。活性炭是一种多孔含碳材料，具有高度发达的孔结构。
具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在---集成电路生产的光刻---工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，铜陵洁净室，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，---是怕钠的半导体车间，洁净室装修，这种车间不宜超过25度。
关于精密仪器测量洁净车间实验室装修设计的通风设计，万级洁净室，建议换气次数为：1 000级nv≮50；10 000级nv≮25；100 000级nv≮15单向流洁净室送风量以房间截面平均风速为准来计算：q2=3600u f（3）。其中f—垂直于气流的房间截面积，m2；υ—截面平均风速，m/s。<洁净厂房设计规范>gb50073-2001中规定：洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的大值：补偿室内排风量和保持室内正压所需的新鲜空气量之和；---供给洁净室内的新鲜空气量应不小于40m3/（h.人）。
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