湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,马鞍山洁净室,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产佳温度范围为35—45%。
常用消声器的种类有:管式阻性消声器、片式阻性消声器、折板式阻性消声器、声流式阻性消声器、弯管式阻性消声器、迷宫式阻性消声器、蜂窝式阻性消声器、微穿孔板消声器、扩张式消声器、内接管扩张式消声器、共振腔消声器、阻性一扩张式复合型消声器、阻性-共振腔复合型消声器、降1压扩容消声器等。消声器设计的基本要求。抗性消声器的消声原理是:它不直接吸收声能,而是借助管道截面的---扩张或收缩。
风管与法兰组合成形时,与角钢法兰连接,风管壁厚小于或等于1.5mm时可采用翻边铆接。风管与法兰铆接前,应---行检查,净化洁净室,合格后将法兰套在风管上。管端应留有约10mm的翻边量,十万级洁净室,折管的方线应垂直于法兰面。然后用液压铆接钳或手动夹紧钳铆接风管和法兰,并留有四周的翻边。当风管的咬合、边缘折叠、铆接损坏时,应进行防腐处理。静压箱的箱体、箱内过滤器的框架及固定件应进行镀锌、镀镍等防腐处理。
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