湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高，粘附的难去掉，洁净室净化工程，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产佳温度范围为35—45%。
100级洁净间的气流形式是层流方式，空气以均匀的断面速度沿同一水平方向流动，与流体力学的层流概念不太相同，垂直方向层流并且侧回风。和百级以上洁净间絮流方式(即空气以不均匀的速度呈不平行流线流动)相比较，它具有效果完全、运转迅速稳定、使得空气的尘埃粒子含量少，控制管理方便容易等优点，但是设备价格高令一些中小厂家难以承受，维护费用也---。
管道通过围护结构时，安徽洁净室，首先要有---的固定结构，百级洁净室，在使用过程中不得晃动或移位，以---密封效果。安装定位和密封处理应有机结合。在金属墙板上开的每个孔的周边均应附定位框架，大型风管的加固应防止前后左右移动。管壁与金属墙板之间的缝隙应用胶水或橡胶海绵填塞，然后用密封胶处理。洁净室的内部装修所用的材料和组件应符合设计要求，洁净室工程，不符合要求的外购件应符合和标准。金属壁板应符合标准规范要求，并应有保---和性能试验报告，包括防火报告和合格证。
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