风道长度较长时,风道长度方向为高频消声提供了较大的自然衰减量,为低频消声不足而设置的低频消声器宜装在出风口附近。设计选用阻性消声器时,应防止高频失效的影响。当管径小于300mm时,可选用直管式消声器,万级洁净室,大于300mm时,应选用片式、蜂窝式、折板式或声流式等消声器。对于高温、高压、高速排气放空噪声,应设计和选用节流降1压小孔喷注放空消声器。
目前,我国实验室洁净工程的市场需求正在往节能方向发展。毕竟洁净工程向来都是耗能大户,据数据统计显示,其耗能比普通写字楼高10-20倍。与同类型工程对比,百级洁净室,我国洁净工程耗能也比美国高出15%。用有一定强度和刚度的表面光洁的轻质板材做成---形风道,隔墙高2.9m,将回风滤管、过滤器安装在风道内,百叶回风口采用定型产品300×300,风口中心标高为0.35m,叶片竖装,以避免百叶片上积尘。
防微振的重要性体现在各行各业:例如感光化学工业,彩色胶片乳剂层14个涂层总厚度仅19μm,在涂布过程中由于微小的振动将使乳剂涂层厚薄不匀,在胶片上产生横纹;在惯导技术方面,合肥洁净室,为了提高的打击精度,准确命中目标,需要对陀螺仪、加速度计及组合制导(、导航、地形匹配及景物匹配)系统的精度提出高的要求,十万级洁净室,这种惯导系统的调试和检测,必须在---宁静的环境中进行;对于微电子工业,线宽0.1μm(4g dram)产品已进人市场,硅片加工中的光刻工序对微振动的控制要求---严格。
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