空气分子控制主要应对空气分子污染(amc),无尘洁净室,这类污染的控制要比粒子污染困难许多。说到粒子污染的控制,先要确定粒子的粒径与个数,然后才能进行相应的设计。只是对于空气分子污染,需要控制的除了芯片线宽外,还有工艺、设备、材料与传送系统等,所以这类污染的控制一直就是业界的难题。总体上来说,正是因为很难有效控制空气分子污染,致使该问题成为了影响相关产品成品率的重要问题。
战后半个世纪是现代科技高速发展的时期,人类经过半个世纪的努力,无论在农业、工业、、生物、宇宙探索、环境以及基本理论研究等方面,都取得了---成就。材料的高纯度、产品的及高---性是这一时期科技发展的特点。超微细加工、装配和测试,对诸如空气洁净、防微振、防电磁干扰、低噪声以及对超纯水、超纯气体等的严格要求,使由此产生的环境控制学得到了迅速发展。控制微振动即防微振,是环境控制的一个重要组成部分。
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