洁净室内部装修前，清洁室内空间必须---清洁干净无尘，金属壁板和附件应存放在干净的环境中，千级洁净室，应在防潮膜上放置干净的室内空间，防止变形。墙板及附件应在清洁的环境中拆封。不合格或损坏的产品不得安装。金属壁板的壁应安装平，板接头应垂直、紧。吊顶的固定吊挂部分只能与主结构连接，不能与设备和管道支架混合使用。墙面和顶面应平整光滑，无灰尘，并应无灰尘，无腐蚀和撞击，易于清洁。
其它净化方式： 负离子法:---负离子与空气中漂浮的有害气体接触后，能还原来自---的污染物质、氮氧化物、香1烟等产生的活性氧（氧自由基）、减少过多活性氧对人体的危害；中和带正电的空气飘尘无电荷后沉降，使空气得到净化。水洗法:通过交流罩极电机高速旋转，再利用离心原理，10万级洁净室，将混合于水的净化剂喷在瓶胆内形成一层水膜。
湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，洁净室设计，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高，粘附的难去掉，合肥洁净室，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产佳温度范围为35—45%。
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