为了满足集成电路日益精细的加工要求，各国在微污染控制技术领域内投入了---的人力、物力进行系统研究，取得了大量科技成果，涌现了一批---产品，诸如超过滤器(过滤效率达99.9999%)的问世及iso3级(0.1μm)洁净室的建立;超纯水及超纯气体的应用;隧道式洁净室及微环境系统洁净室的出现和使用，---降低了污染。在防微振领域，从厂房结构形式、动力设备布置及隔振措施到精密设备防微振措施等方面---的建树，为集成电路生产提供了一个优良的环境。
我国涉及检验检测的各类型标准有8项，但是没有---对该类型实验机构进行规范。根据长期积累的装修经验为大家提供如下设计数据以供参考：
1. 实验楼布局一般为长方形+中间内走廊。
长方形横向轴线用6~8m，洁净室施工厂家，长度根据需要设定
纵向轴线6~9m，或采用6m-2.5m-6m的方式，中间位内走廊，走廊宽度可根据需求设定。
质检楼一般为2-3层，实验室的净高为2.6m~3.0m。
技术夹层的高度根据空调形式及结构来决定，一般不小于1m。
2. 温湿度要求：夏季温度设置在18～28℃，冬季为16～20℃，工业洁净室，湿度好在30%（冬季）～70%（夏季）之间。
越来越受到人们的关注，尤其是---天气的增多。净化工程是措施之一，10万级洁净室，如何利用净化工程来做好工作，阜阳洁净室，下面来说说净化工程中的控制。
洁净室中的温湿度控制洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到 人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。
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